- 24 дек., вт
- 10:00-13:00 Электрохимические технологии в производстве изделий микросистемной техники
- 25 дек., ср
- 12:00-15:00 Оборудование и технологии формирования тонких плёнок в микроэлектронике
- 26 дек., чт
- 14:00-17:00 Оптические методы исследования и контроля материалов и изделий микросистемной техники